ISO14442019年到2022年有一部分標準已經更新,蘇州益康環境檢測已做了整理。大家可以參考
根據空氣中微粒濃度進行潔凈分級的測試方法和儀器已歸入 ISO 14644-1 中,納米級顆粒濃度空氣潔凈度監測標準歸入 ISO 14644-12 中。確定其它與特定產品或工藝用潔凈室和潔凈區有關的參數的方法和儀器在 ISO/TC 209 起草的其它文件中另行討論【例如,微生物控制和檢測(ISO 14698 系列)、潔凈間功能檢測(ISO 14644-4),SO 14644-5涵蓋的持續操作、清潔和維護活動。以及隔離裝置檢測(ISO 14644-7)】。另外,亦可考慮其它適用標準。其它潔凈級別屬性級別可采用 ISO 14644-8(根據化學物質確定的空氣潔凈度水平)、ISO 14644-9 (根據顆粒濃度確定的表面潔凈度水平)以及 ISO14644-10(根據化學物質濃度確定的表面潔凈度水平)。
標準號 | 標題 | 描述 |
ISO14644-1:2015 | 根據顆粒濃度對空氣潔凈度 進行分類 | 提供了按顆粒濃度對空氣潔凈度等級和大顆粒進行測試的程序和設備 |
ISO14644-2:2015 | 通過顆粒濃度監測提供與空 氣潔凈度相關的潔凈室性能證據 | 規定了監控和定期測試潔凈室或潔凈區的要求,以證明其待續符合ISO14644-l標準。 |
ISO14644-3:2019 | 檢測方法 | 規定了測量潔凈室、潔凈區或相關受控環境(包括分離裝置和受控區,以及所有相關結構、空氣處 理系統、服務和公用設施)性能的適當測試方法. |
ISO14644-4:2022 | 設計、建造和啟動 | 凈室的設計、建造和啟動提供了指導,包括新的和正在改造或翻新的潔凈室。 |
ISO14644-5:2004 | 運行 | 規定了潔凈室運行的基本要求。 |
ISO14644-6:2007 | 詞匯 | 術語和定義 |
ISO14644-7:2004 | 隔離裝置(潔凈風罩、手套 箱、隔離器、彶環境) | 規定了隔離裝置的設計、建造、安裝測試和批準的要求. |
ISO14644-8:2022 | 根據化學濃度對空氣潔凈度 進行分類(ACC) | 涵蓋了潔凈室和相關受控環境中空氣傳播的分子污染物(ACC)的分類。 |
ISO14644-9:2022 | 表面顆粒潔凈度的分類 | 根據潔凈室和相關受控環境中的顆粒濃度,確定固體表面潔凈度等級分類。 |
ISO14644-1O:2022 | 根據化學濃度對表面沽凈度 進行分類 | 根據化學化合物或元素的存在,定義潔凈室表面浩凈度的分類系統。 |
ISO14644-12:2018 | 用納米級粒子濃度監測空氣 潔凈度的規范 | 提供了按納米級顆粒濃度監測空氣潔凈度的規范 |
ISO14644-13:2017 | 根據顆粒和化學分類,清潔 表面以達到規定潔凈度水平 | 將潔凈室表面、潔凈室設備表面和潔凈室材料表面消潔到規定的程度。 |
ISO14644-14:2016 | 通過空氣粒子濃度評估設備 的適用性 | 規定了評估設備在潔凈室和相關受控環境中適用性的方法。 |
ISO14644-15:2017 | 通過空氣中化學物質濃度評估設備和材料的適用性 | 為評估預計在潔凈室和相關受控環境中使用的設備和材料的化學氣相潔凈度.提供要求和指南。 |
ISO14644-l6:2019 | 潔凈室和隔離裝置的能效 | 為優化新的和現有的潔凈室、潔凈區和隔離裝置的能源使用和保持能源效率,提供指導和建議。 |
ISO14644- 17:2021 | 粒子沉積速率應用 | 污染控制程序一部分,對潔凈室一個或多個易損表面上顆粒沉積率(PDR)測量結果的解釋和應用提供指導. |
ISO/DIS 14644- 18 | 耗材適用性評估 | 根據產品和工藝要求、潔凈度屬性和功能性能屬性,為評估個人和非個入消耗品在潔凈室、潔凈區或受控區的適當使用提供指導. |
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